1.InfiniteFocus G5整合了微型三坐標(biāo)測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)所有的功能。

2.即使對于復(fù)雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率。

3.新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合。

4.LED環(huán)形燈的設(shè)計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。

5.nfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。

6.測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等

7.高分辨，高可重復(fù)性和可溯源。